MGE6100 热式气体质量流量控制器

Name: MGE6100 热式气体质量流量控制器
Brand: 杭州孚昇仪表科技有限公司
Availability: InStock

概要:

该产品采用新一代工业级气体流量检测芯片、高端电磁比例阀、316L不锈钢气路底座，结合高速数字处理电路以及温度补偿算法，可实现最小0. 2 sccm 、最大20slm流量范围内的气体流量快速控制。该产品可以用于配气仪、分析仪、真空镀膜、焊接等应用场景。

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详细介绍

产品特点

· 优异的产品稳定性。
· 重复性和再现性好。
· 高精度、小体积。
· 宽温区高精度工作。
· 响应速度快。
· 性价比高。

技术参数

产品名称	MGE6100
介质要求	洁净干燥无腐蚀性气体
介质种类	空气、氮气、氧气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氩气等
量程 (氮气等效)	(0~20,50,100,200,500)sccm (0~1,2,5,10,20)slm
精度	0.8%F.S.或1.0%S.P.取更大者
量程比	100:1
响应时间	≤1s
重复精度	≤±0.2%F.S.
分辨率	0.01sccm,≤100sccm 0.1sccm,≤1slm且>100sccm lsccm,≤5slm且>1slm 0.01slm,>5slm
漏率	≤1×10⁹Pa m³/s He
最大耐压	9.8bar
工作温度	0~50℃
工作湿度	10%~90%R.H. (无结冰、无凝霜)
工作压力	0.5~4bar,>2slm 0.5~6bar,≤2slm (具体量程相关)
储存温度	-20~85℃
供电电压	DC24V,纹波≤50mV
功耗	≤2.7W
启动时间	≤1s
接口类型	D-SUB9
模拟控制	0~5V
数字控制	RS485或RS232
接口类型	D-SUB9
通信速率	9600(默认),14400,19200,38400,56000,57600,115200 (可通过指令或上位机修改)
协议	Modbus-RTU
设备地址	1(默认)~250,(可通过指令或上位机修改)
接头类型	卡套：8mm、1/4inch、1/8inch其它可选
气体接触材质	316L不锈钢、氟橡胶、二氧化硅
主体材质	底座：316L不锈钢；外壳：铝合金
密封材质	FKM氟橡胶
重量	0.90kg