MG620FC 热式气体质量流量控制器
概要:
MG620FC微型气体质量流量控制器是专门为各类小流量气体的测量和控制而设计的。该系列的传感器均采用先进的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，结合数字信号处理技术和流量控制算法，实现对各类气体流量大小的精准控制和智能化处理。
所属分类：
MG620FC微型气体质量流量控制器是专门为各类小流量气体的测量和控制而设计的。该系列的传感器均采用先进的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，结合数字信号处理技术和流量控制算法，实现对各类气体流量大小的精准控制和智能化处理。
详细介绍
产品特点
采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片，旁路分流器和电磁比例阀设计而成，传感器具有高精度，抗干扰性 强特点，分流器的旁路流体成层流状态，从而使测量和控制更加稳定和精准。电磁比例阀具有使用寿命长，灵敏度高等特点。
· 传感器零点稳定。
· 量程范围精度高，重复性好。
· 响应时间快。
· 标准机械接口，安装方便。
· RS485通讯输出，标准MODBUS RTU协议。
· 采用LCD显示瞬时流量和累计流量，清晰直观，读数方便，可通过按键输入控制流量，在液晶屏上直接显示控制流量和实时流量值。
· 标配4-20mA输出，可定制1-5V或者0-10V 输入输出控制。
技术参数
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产品名称 |
MG620FC热式气体质量流量控制器 |
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工作电源 |
DC24V/12W |
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精度(%) |
控制精度：±1.0%SP,测量精度：1%fs |
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控制和测量量程比 |
1:100 |
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阀类型 |
常闭型 |
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工作温度 |
-10~55℃ |
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湿度 |
<95%RH(无结霜，无结冰，无凝露) |
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流量规格 |
(0~10、20、30、50、100、200、300、500)SCCM |
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工作压力范围 |
测量：0-1.5MPA |
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典型的控制响应时间 |
小于1.5S(T90) |
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测量响应时间 |
<50mS |
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输出方式 |
4-20mA(1-5V),可定制0-5V、0-10V |
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通讯方式 |
RS485(Modbus Rtu协议) |
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控制方式 |
按键操作，Modbus,4-20mA(1-5V),可定制0-5V、0-10V |
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机械连接 |
G1/4,PT1/2内螺纹其他螺纹可定制 |
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防护等级 |
IP40 |
备注：以上数据为在25℃，101.32kPa,干燥空气下测得。
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可选择标况温度条件 |
0°,20°,25°,用户可调，默认25° |
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可选择气体类型 |
Air,N2,02,CH4,Ar,CO2,He,H2,C3H8 |
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常规工作压差 |
0.1-0.8mpa ,流量规格<=30SLM |
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非常规工作压差 |
可定制咨询 |
行业应用
| 工业制气 | 科研实验 | 半导体 | 医疗生物 |
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产品咨询
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