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2026
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MG605热式气体质量流量计 低压损 快响应 宽量程 清洁干燥气体的高性价比之选
孚昇科技MG605系列MEMS热式气体质量流量计，采用微机电系统流量传感芯片，测量范围从0.1L/min到1000L/min，兼具宽量程与高精度。响应速度不超过10毫秒，精度达到±2.0%F.S，支持氮气、氧气、二氧化碳等多种气体一键切换。可广泛应用于新能源电池干燥吹扫、半导体刻蚀沉积、生物制药发酵、实验室微小流量检测等场景。
一. 技术亮点
1. MEMS热式传感技术
采用微机电系统流量传感芯片，灵敏度高、零漂小，实现稳定精准的气体质量流量测量。
2. 宽量程覆盖
量程范围0.01L/min~1000L/min，适配不同气路系统需求。
3. 多气体切换
支持空气、氮气、氧气、二氧化碳等气体一键切:换，无需重新标定，使用更灵活。
4. 多种输出可选
标配RS485通讯，可选模拟量及报警输出，方便对接各类控制系统。
5. 紧凑低压损
通径管路设计，压损小、体积小巧，适合设备配套及狭小空间安装。
二. 核心参数
精度 | +2.0%F.S |
重复性 | <1.0%F.S |
量程范围 | 1 SCCM~ 1000 SLM |
响应时间 | 10ms(可定制) |
输出方式 | 0-5V、4-20mA、PNP/NPN |
三. 经典应用场景
科研实验
MG605系列适配小型气体实验装置、气体分析仪器、流体实验平台，实现微小流量、高精度气体流量测量，满足科研教学、产品检测与实验数据采集需求。
科研实验
MG605系列适配小型气体实验装置、气体分析仪器、流体实验平台，实现微小流量、高精度气体流量测量，满足科研教学、产品检测与实验数据采集需求。
新能源电池制造
在新能源电池（锂电、钠电）生产全流程中，MG605可精准监测干燥、吹扫、保护等环节的惰性气体（氮气、氩气）及压缩空气流量，无需温压补偿即可实现高精度计量，规避气体流量不稳导致的电池鼓包、一致性差等问题，是保障电池生产良率、推动产线智能化管控的核心配套部件。
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