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2026
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MG620系列气体流量计/控制器 精密驭气 智控毫厘
孚昇科技 MG620 系列气体质量流量控制器 / 流量计，是一款基于MEMS传感技术的高精度微型气体质量流量计，专为小流量洁净气体的精密测量与控制而设计，适用于半导体、科研实验、医疗生物、工业制气等精密控气场景。
一. 产品特点
1. MEMS芯片传感 精准稳定
采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片，结合旁路分流器与电磁比例阀，抗干扰性强，零点稳定，重复性高。
2. 毫升级微小流量测控
最小可测1Nml/min-100Nml/min微小流量，更小量程可定制，满足精密气体调控需求。
3. 响应快速 控制灵敏
稳定时间≤1.5秒，控制范围1%~100%F.S，电磁比例阀寿命长、灵敏度高，适用于动态气体调控场景。
4. 本体防爆设计
采用本安型防爆结构(不含阀)，过严格的防爆认证，适用于存在可燃性气体的工业现场，确保设备运行安全可靠。
5. 双向流量检测
支持正反向双向流量检测，双向流量可相加亦可相减，满足单向测量等多种应用需求。
二. 核心参数
精度 | 控制:±1.0%S.P |
稳定时间 | ≤1.5s |
量程范围 | +1Nml/min~+500NL/min |
量程比 | 100:1(控制与测量) |
三. 应用场景
科研实验
在催化反应、材料合成、生物培养等科研场景中，气体流量的精确控制直接影响实验结果的重复性与可靠性。孚昇科技 MG620系列微型气体质量流量控制器/流量计凭借MEMS传感芯片与电磁比例阀的协同工作，实现毫升级微小流量的精准测控。支持本体本安型防爆与双向流量检测，适配多种气体介质，接触介质部件可定制304/316L不锈钢，表面光洁易清洁，符合GMP要求。
半导体加工
孚昇科技MG620系列微型气体质量流量控制器/流量计可实现高精度闭环控制，实时跟踪设定值，解决刻蚀、沉积环节气体波动导致的良率下降问题。内置Air、N₂、O₂、Ar、H₂等9种气体参数，气体切换无需频繁标定。响应时间＜1.5秒，满足工艺快速切换需求。支持4-20mA与RS485双模控制，灵活接入设备与工厂系统。紧凑设计，适配半导体设备内部密集气路安装空间。
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