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2026
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CY211系列差压式流量控制器/流量计 DSP主控 紧凑设计 触控大屏
孚昇科技CY211/CY211FC系列高精度差压式质量流量控制器/流量计，体积小巧、响应快至50ms、精度±0.5%F.S、压损低，适用于半导体、石油石化、太阳能等高集成度场景。支持气体质量流量、体积流量、压力、温度等多参数测量，同时具备USB、Type-C与蓝牙连接，设备连接灵活便捷。
一. 产品特点
1. 无“比热容”误差
直接测量差压，不受气体成分影响，数据实时更精准。
2. 紧凑机身 大屏显示
设计小巧节省安装空间，大屏读数更直观。
3. 多参数+DSP主控
同时监测流量、压力、温度，DSP芯片进一步提升精度与稳定性。
4. 百种气体自由切换
内置近百种气体库，无需返厂校准，即切即用。
二. 核心参数
精度 | +0.5%F.S |
稳定性 | <+0.1%F.S |
量程范围 | 2 SCCM~3000 SLM |
响应时间 | 50ms |
量程比 | 50:1(阀控)/100:1(流量计) |
三. 应用场景
分析仪器
CY211系列适用于气相色谱、质谱、FTIR等气体分析仪器的样气流路控制。其±0.5%F.S.精度与±0.2%重复精度可确保样气流量稳定，降低对检测结果的干扰。同时支持流量、压力、温度多参数输出，便于系统动态补偿与校准。
真空镀膜
在磁控溅射、电子束蒸发、PECVD等镀膜工艺中，CY211系列负责反应气体（如Ar、N₂、O₂、SF₆）的稳流注入。其层流差压式原理压损低，可减少气源浪费；50ms快速响应能及时补偿腔体压力波动，保障膜层均匀性。同时，设备支持近百种气体一键切换，适应多工艺配方快速轮换需求。
真空镀膜
在磁控溅射、电子束蒸发、PECVD等镀膜工艺中，CY211系列负责反应气体（如Ar、N₂、O₂、SF₆）的稳流注入。其层流差压式原理压损低，可减少气源浪费；50ms快速响应能及时补偿腔体压力波动，保障膜层均匀性。同时，设备支持近百种气体一键切换，适应多工艺配方快速轮换需求。
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