MGX690系列MFC 为半导体行业量身打造

孚昇科技 MGX690 系列气体质量流量控制器 / 流量计，专为微小气体流量精准控制需求设计，在传感响应性能、智能控制算法及密封结构设计等方面进行系统性优化升级。产品支持高精度快速调节，兼容多款主流通讯协议，可按需选配氟橡胶密封、全金属密封两种结构方案。广泛适配半导体、光伏、真空镀膜等行业场景，亦可满足硅烷、氯气等特种气体的工艺应用要求。

一. 产品优势

1. 高精度低漂移

2.0%-100%F.S.全量程段保持高精度:
0.3%F.S.(≤30%F.S.); 1.0%S.P.(>30%F.S.)重复精度≤±0.2%F.S.，长期稳定可靠。

2. 毫秒级快速响应

传感器响应≤1.5ms，整机响应≤1s，精准捕捉微小流量变化。

3. 耐酸碱腐蚀

采用全金属密封结构，漏率≤1x1012Pa.m3/sHe，适用于硅烷、氯气、三氯化硼等腐蚀性及毒性:气体。

4. 多重安全认证

通过防爆认证、欧盟CE-EMC、英国UKCA-EMC等国际认证，确保在易燃易爆及严苛工业环境中的安全运行。

二. 核心参数

精度	±0.3 % F.S （≤30% F.S） ±1.0 % S.P （>30% F.S）
量程比	50:1
响应时间	控制器:≤1s、流量计:≤10ms
重复精度	≤+0.2%F.S
分辨率	0.01sccm, ≤100sccm 1sccm,>100sccm