MG650热式气体质量流量计
概要:
MG650系列气体质量流量传感器是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作，适用于微小工件的吸附确认，独特的封装技术使得产品满足不同范围的流量测量，确保高灵敏度，高可靠性和高稳定性。 MG650是基于 MEMS 流量传感单元和高精度数字处理电路，集成的 A/D 转换器和具有内部校准功能的逻辑电路共同保证了传感信号实时有效采集，获得精确的流量信号。在内部进行相应的补偿算法处理，因此无需再做任何外部校准补偿，就能确保高精度的流量输出。
关键词：
所属分类：
MG650系列气体质量流量传感器是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作，适用于微小工件的吸附确认，独特的封装技术使得产品满足不同范围的流量测量，确保高灵敏度，高可靠性和高稳定性。 MG650是基于 MEMS 流量传感单元和高精度数字处理电路，集成的 A/D 转换器和具有内部校准功能的逻辑电路共同保证了传感信号实时有效采集，获得精确的流量信号。在内部进行相应的补偿算法处理，因此无需再做任何外部校准补偿，就能确保高精度的流量输出。
详细介绍
产品特点
· 精度高(5.0%F.S精度)
· 线性输出和无需温度补偿
· 以最小的零漂保持长期稳定性
· 固态传感核心(无表面空洞或易碎膜)，抗堵塞和压力冲击
· 快速响应时间(≤5ms)
· 流量范围宽-3SLM-3SLM
技术参数
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参数 |
性能参数 |
单位 |
备注 |
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量程范围 |
-3~3 |
SLM |
量程可选 |
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工作电压 |
9~24 VDC |
V |
电流输出：24VDC |
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工作电流 |
＜30 |
mA |
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输出阻抗 |
＞30 |
KΩ |
|
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精准度 |
≤±5.0 |
%F.S |
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|
分辨率 |
0.1 |
%F.S |
|
|
重复性 |
≤1.0 |
%F.S |
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|
零点漂移 |
≤0.5 |
%F.S |
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|
响应时间 |
≤5 |
ms |
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|
最大压力 |
500 |
kPa |
可定制 |
|
输出 |
模拟电压 1~5 |
V |
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重量 |
10 |
g |
不含通讯线 |
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工作温度 |
0~50 |
ºC |
|
|
存储温度 |
-20~70 |
ºC |
|
|
接头类型 |
M5 |
|
可定制 |
产品尺寸
行业应用
| 光伏设备 | 激光设备 | 半导体设备 | 固晶机 |
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