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热式MEMS传感器芯片/微流量气体流量计

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MG650热式气体质量流量计


MG650系列气体质量流量传感器是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作,适用于微小工件的吸附确认,独特的封装技术使得产品满足不同范围的流量测量,确保高灵敏度,高可靠性和高稳定性。 MG650是基于 MEMS 流量传感单元和高精度数字处理电路,集成的 A/D 转换器和具有内部校准功能的逻辑电路共同保证了传感信号实时有效采集,获得精确的流量信号。在内部进行相应的补偿算法处理,因此无需再做任何外部校准补偿,就能确保高精度的流量输出。