MG620 热式气体质量流量计
概要:
MG620是一款基于MEMS传感技术的高精度微型气体质量流量计，专为小流量洁净气体的精密测量与控制而设计。该产品采用微机电系统芯片，具备优异的零点稳定性和重复性，无需温度与压力补偿，可直接输出气体质量流量。其量程比宽达1:100，支持4~20mA及1~5V/0~10V/0~5V等多种输出方式，并可通过RS485与Modbus RTU协议实现数据通讯。适用于航空航天、半导体加工、生物医疗、工业制气等领域，是高精度、高可靠性气体流量监测的理想选择。
所属分类：
MG620是一款基于MEMS传感技术的高精度微型气体质量流量计，专为小流量洁净气体的精密测量与控制而设计。该产品采用微机电系统芯片，具备优异的零点稳定性和重复性，无需温度与压力补偿，可直接输出气体质量流量。其量程比宽达1:100，支持4~20mA及1~5V/0~10V/0~5V等多种输出方式，并可通过RS485与Modbus RTU协议实现数据通讯。适用于航空航天、半导体加工、生物医疗、工业制气等领域，是高精度、高可靠性气体流量监测的理想选择。
详细介绍
· 标准机械接口，安装方便。
· 采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片，传感器具有高精度，高灵敏度，抗干扰性强等特点。
· 量程比1：100，适应不同流量范围，量程范围内精度高，重复性好。
· 响应时间短，适合动态流量测量。
· 可测量空气，氮气，氧气，氩气，甲烷，丙烷，二氧化碳，氢气，氦气等。
技术参数
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产品名称 |
MG620热式气体质量流量计 |
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工作电源 |
DC24V/2.5W |
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介质温度 |
-10~55℃ |
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工作压力 |
≤1.1Mpa(可选1.6MPA) |
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输出方式 |
4-20mA |
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机械连接 |
G1/2 G1/4内螺纹 |
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精度(%) |
±(1.5+0.2FS) |
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湿度 |
<95%RH(无结霜，无结冰) |
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显示 |
瞬时流量，累计流量 |
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通讯方式 |
RS485(Modbus Rtu协议) |
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响应时间(ms) |
50-1000 |
备注:以上数据为在20C,101.32kPa,干燥空气下测得
选择参数
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规格 |
流量范围 L/min |
流量范围 m3/h |
|
默认G1/2，G1/4内螺纹 |
0.001-0.1 |
0.00006-0.006 |
|
0.005-0.5 |
0.0003-0.03 |
|
|
0.01-1 |
0.0006-0.06 |
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|
0.1-10 |
0.006-0.6 |
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|
0.3-30 |
0.018-1.8 |
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0.5-50 |
0.03-3 |
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1-100 |
0.06-6 |
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2-200 |
0.12-12 |
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3-300 |
0.18-18 |
备注:本体材质F0-阳极铝、F1-304、F2-316
产品尺寸
行业应用
| 工业制气 | 科研实验 | 半导体 | 医疗生物 |
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