MG610 热式气体质量流量计
概要:
MG610是一款基于MEMS传感芯片的高精度微型气体质量流量计,专为小流量洁净气体的测量与控制设计。该产品采用先进的封装技术,无需温压补偿,具备优异的测量稳定性与重复性,可替代传统容积式或压差式流量计。其支持4~20mA电流输出与RS485通信,配备液晶显示屏实时显示流量数据,并具备多气体类型选择、报警输出、参数灵活配置等功能。适用于半导体、生物医疗、工业制气、汽车电子等领域的精密气体流量监测与控制。
所属分类:
MG610是一款基于MEMS传感芯片的高精度微型气体质量流量计,专为小流量洁净气体的测量与控制设计。该产品采用先进的封装技术,无需温压补偿,具备优异的测量稳定性与重复性,可替代传统容积式或压差式流量计。其支持4~20mA电流输出与RS485通信,配备液晶显示屏实时显示流量数据,并具备多气体类型选择、报警输出、参数灵活配置等功能。适用于半导体、生物医疗、工业制气、汽车电子等领域的精密气体流量监测与控制。
详细介绍
产品特点
· 标准机械接口,安装方便,可根据实际读数需求,调整屏幕显示方向 。
· 采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片,传感器具有高精度,高灵敏度,抗干扰性强等特点。
· 量程比1:100,适应不同流量范围,量程范围内精度高,重复性好。
· 响应时间短,适合动态流量测量。
· 可测量空气,氮气,氧气,氩气,甲烷,丙烷,二氧化碳,氢气,氦气等。
技术参数
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产品名称 |
MG610热式气体质量流量计 |
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工作电源 |
DC24V/2.5W |
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介质温度 |
-10~55°C |
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工作压力 |
≤1.0MPa |
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输出方式 |
4-20mA |
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机械连接 |
BSPT1/4内螺纹(DN10) |
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BSPT3/8内螺纹(DN10) |
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BSPT1/2内螺纹(DN15) |
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BSPT3/4内螺纹(DN20) |
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BSPT1内螺纹(DN25) |
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均可选G 内螺纹接口 |
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精度(%) |
±(1.5+0.2FS) |
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湿 度 |
< 9 5 % R H ( 无 结 霜,无 结 冰 ) |
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显 示 |
瞬 时 流 量,累 计 流 量 |
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通讯方式 |
RS485(Modbus Rtu协议) |
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响应时间(ms) |
50-1000 |
备注:以上数据为在20℃,101.32kPa,干燥空气下测得
选择参数
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规格 |
默认G3/8内螺纹 |
默认G1/2内螺纹 |
默认G3/4内螺纹 |
默认G1内螺纹 |
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流量范围 |
L/min |
0.5-50 |
1-100 |
2-200 |
3-300 |
5-500 |
10-1000 |
20-2000 |
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流量范围 |
m³/h |
0.03-3 |
0.06-6 |
0.12-12 |
0.18-18 |
0.3-30 |
0.6-60 |
1.2-120 |
备注:最大可测流量:2000NL/min,大流量可定制
产品尺寸


行业应用
| 工业制气 | 科研实验 | 半导体 | 医疗生物 |
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