高精度±1.0%FS
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MG620是一款基于MEMS传感技术的高精度微型气体质量流量计，专为小流量洁净气体的精密测量与控制而设计。该产品采用微机电系统芯片，具备优异的零点稳定性和重复性，无需温度与压力补偿，可直接输出气体质量流量。其量程比宽达1:100，支持4~20mA及1~5V/0~10V/0~5V等多种输出方式，并可通过RS485与Modbus RTU协议实现数据通讯。适用于航空航天、半导体加工、生物医疗、工业制气等领域，是高精度、高可靠性气体流量监测的理想选择。
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