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气体质量流量计

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MG600微型气体质量流量计是基于先进MEMS传感芯片打造的高精度测量仪表，专为各类小流量清洁气体的监测与控制而设计。它采用独特的封装技术，无需温度与压力补偿，可直接安装于多种管径，为工业过程提供稳定、可靠的流量数据。该产品支持RS485通讯或4~20mA模拟输出，配备液晶显示屏，具有响应快、重复性好、安装简便等特点，广泛应用于半导体、生物医疗、工业制气、实验室分析等领域，是替代传统机械式流量计的理想选择。

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MG605系列气体质量流量计是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作，适用于各种用途的清洁、相对干燥性小流量气体测量和过程控制，独特的封装技术使得产品满足不同范围的流量测量，确保高灵敏度，高可靠性和高稳定性。该流量计具有RS485网络通讯接口以及用户自定义报警功能，可以更好的实现数据传输和流量监控。MG605产品可支持 0.1L/min~2000L/min 气体流量测量，用户可以根据需求选择气体类型及量程。

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MG610是一款基于MEMS传感芯片的高精度微型气体质量流量计，专为小流量洁净气体的测量与控制设计。该产品采用先进的封装技术，无需温压补偿，具备优异的测量稳定性与重复性，可替代传统容积式或压差式流量计。其支持4~20mA电流输出与RS485通信，配备液晶显示屏实时显示流量数据，并具备多气体类型选择、报警输出、参数灵活配置等功能。适用于半导体、生物医疗、工业制气、汽车电子等领域的精密气体流量监测与控制。

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MG620是一款基于MEMS传感技术的高精度微型气体质量流量计，专为小流量洁净气体的精密测量与控制而设计。该产品采用微机电系统芯片，具备优异的零点稳定性和重复性，无需温度与压力补偿，可直接输出气体质量流量。其量程比宽达1:100，支持4~20mA及1~5V/0~10V/0~5V等多种输出方式，并可通过RS485与Modbus RTU协议实现数据通讯。适用于航空航天、半导体加工、生物医疗、工业制气等领域，是高精度、高可靠性气体流量监测的理想选择。

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