MG640FC热式气体质量流量控制器

Name: MG640FC热式气体质量流量控制器
Brand: 杭州孚昇仪表科技有限公司
Availability: InStock

概要:

MG640FC微型气体质量流量控制器是专门为各类小流量气体的测量和控制而设计的。该系列的传感器均采用先进的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，结合数字信号处理技术和流量控制算法，实现对各类气体流量大小的精准控制和智能化处理。

关键词：

热式MEMS传感器芯片/热式 MFC/半导体流量控制器

所属分类：

经济款热式气体质量流量控制器

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详细介绍

产品特点

· 采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片，旁路分流器和电磁比例阀设计而成，传感器具有高精度，抗干扰性强特点，分流器的旁路流体成层流状态，从而使测量和控制更加稳定和精准。电磁比例阀具有使用寿命长，灵敏度高等特点。
· 传感器的零点稳定。
· 量程范围内精度高，重复性好。
· 响应时间快。
· 标准机械接口，安装方便。
· RS485通讯输出，标准MODBUS RTU协议。
· 采用LCD显示瞬时流量和累计流量，清晰直观，读数方便，可通过按键输入控制流量，在液晶屏上直接显示控制流量和实时流量值

技术参数

产品名称	MG640FC热式气体质量流量控制器
工作电源	2DC24V/12W
精度（%）	控制精度：±1.0%S.P.，测量精度：1%F.S.
量程比	1：100
阀类型	常闭型
工作温度	-10~55℃
湿度	<95%RH（无结霜，无结冰，无凝露）
流量规格	（0~10、20、30、50、100、200、300、500）SCCM （0~1、2、3、5、10、20、30）SLM
工作压力范围	测量:0-1.5MPa 控制:10SCCM-30SPLM压力:0.1-1.0MPA
典型的控制响应时间	小于1.5S(T90)
测量响应时间	<50mS
通讯方式	RS485(Modbus Rtu协议)
控制方式	按键操作,Modbus
机械连接	G1/4,其他可选配
防护等级	IP40

备注:以上数据为在25°C，101.32kPa,干燥空测得

其他特性

可选择标况温度条件	0°,20°,25°,用户可调，默认25°
可选择气体类型	Air,N2,02,CH4,Ar,CO2,He,H2,C3H8
常规工作压差	0.1-0.8mpa ,流量规格<=30SLM
非常规工作压差	可定制咨询