MG630FC热式气体质量流量控制器

Name: MG630FC热式气体质量流量控制器
Brand: 杭州孚昇仪表科技有限公司
Availability: InStock

概要:

MG630FC系列气体质量流量控制器，适配各类工艺的气体流量管控场景。产品采用自研高精度 MEMS 流量芯片、电磁比例阀及全国产电子元器件，经严格可靠性测试，拥有CE、防爆、计量院一级精度校准等多项认证。产品量程覆盖0~100sccm~200slm，体积小巧、安装简便；兼容RS485、0-5V、4-20mA 信号输出，可满足多样工况使用要求。

关键词：

气体质量流量控制器/MEMS流量芯片/高精度/热式MFC

所属分类：

经济款热式气体质量流量控制器

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详细介绍

产品介绍

产品特点

· 多种通讯方式(RS485、0-5V和4-20mA)可选
· 结构紧凑，体积小，易于安装和使用
· 兼容一般工业常用非腐蚀性气体(氮气、氧气、氩气、二氧化碳、氢气等)
· 流量控制精度可达1%F.S.，响应时间≤1s

技术参数

基本参数	产品型号	MG630FC热式气体质量流量控制器
	量程	(0~100,200,500)sccm (0~1,2,5,10, 20) slm (0~50,100,200) slm
	介质要求	洁净、干燥、无腐蚀性气体
	介质种类	空气、氮气、氧气、二氧化碳、氢气、氩气等
	精度	±1.0%F.S.
	量程比	100:1
	响应时间	≤1s
	重复精度	≤±0.2%FS
	分辨率	0.01 sccm, ≤100 sccm 0.1 sccm, >100 sccm且≤1slm 1 sccm, >1slm且≤5slm 0.01 slm, >5slm
	最大耐压	1MPa
环境条件	工作温度	0~50°C
	工作湿度	10%~90%RH(无结冰、无凝霜)
	工作压力	0.5~6bar, ≤2slm 0.5~4 bar, >2slm且≤20slm 1.5~5bar, >20slm且≤50slm 2~6 bar， >50slm
	温度系数	≤±0.1%FS/°C
电气参数	供电电压	DC15~25V(建议DC24V)
	耗功	≤4.3W
	启动时间	≤1s
	通讯接口	DB9M
	通讯方式	RS485 (0~5V、4~20mA可选)
	通讯速率	9600(默认),14400,19200,38400,56000,57600,115200(可通过指令或上位机修改)
	设备地址	1(默认)~250(可通过指令或上位机修改)
机械参数	本体接头	G1/4内螺纹	RC1/4、RC1/2锥螺纹可选
	外部接头	以下可选:卡套接头(6mm、8mm、12mm、1/4inch)、快插接头(6mm、8 mm)	卡套接头(3/8inch)
	主体材质	铝合金6061(底座)、PPS(外壳)
	接气材质	铝合金6061、FKM氟橡胶、氮化硅
	典型重量	0.4 Kg
	防护等级	IP50
	认证情况	CE/EMC:61326-1,防爆认证

备注

除非另有说明，本产品标定于以下条件:氮气、25°C、2.5bar差压。
建议在入口端安装尺寸合适的直管段，否则可能会引起精度产生偏差。
建议在入口端和出口端匹配尽可能大的接头，以避免导致额外的压损。

①　F.S.指误差占满量程的百分比。
②　响应时间指达到设定值土2%误差范围以内所需要的时间。
③　工作压力指进气口与出气口之间的差压。

产品尺寸

本体接头为G1/4或RC1/4

本体接头为G1/4的版本，可选配外部接头：卡套(6 mm、8 mm、12 mm、1/4 inch)、快插(6 mm、8 mm)，配置接头后的产品宽度如下：

外部接头类型	6mm卡套	8mm卡套	12mm卡套	1/4mm卡套	6mm快插	8mm快插
产品宽度(mm)	119 mm±1 mm	124 mm±1 mm	124 mm±1 mm	119 mm±1mm	105 mm±1 mm	109.6mm±1mm