MGX695 热式气体质量流量计
概要:
MGX695系列产品采用公司自主研发的工业级先进流量传感器芯片，结合低压损气路结构以及高速数字处理电路以及温度补偿算法，可以实现最小0.1sccm、最大20slm流量范围内的气体流量快速控制。该产品可选配触摸显示屏、独立供电端口，完美适配半导体、真空镀膜、实验室、光伏、分析仪等各类应用环境。
所属分类：
MGX695系列产品采用公司自主研发的工业级先进流量传感器芯片，结合低压损气路结构以及高速数字处理电路以及温度补偿算法，可以实现最小0.1sccm、最大20slm流量范围内的气体流量快速控制。该产品可选配触摸显示屏、独立供电端口，完美适配半导体、真空镀膜、实验室、光伏、分析仪等各类应用环境。
详细介绍
产品特点
· 双屏显示：正面配有触摸式彩色显示 屏，顶部配有高亮数码显示屏及地址编码开关
· 支持量程调整：用户可在出厂量程的基础上，按需进行量程调整（可调整为出厂量程的20%~100%），以更好的适配应用场景
· 快速响应：1.5ms芯片响应时间，0.1~0.5s仪表系统响应时间，及时捕捉微小流量变化
· 高精度：1.0%~100%F.S.全量程段保持高精度：0.3%F.S.(≤30%F.S.)；1.0%S.P.(>30%F.S.)
· 配备专用上位机：配备功能强大的SmartFlow，支持多台联动，方便用户进行监测和设备配置
技术参数
| 产品名称 | MGX695气体质量流量计 |
| 介质要求 | 洁净干燥无腐蚀性气体 |
| 介质种类 | 空气、氮气、氧气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氩气等 |
| 量程（氮气等效） | (0~20, 50, 100, 200, 500) SCCM (0~1, 2, 5, 10, 20) SLM 其他量程可选，详细请咨询 |
| 精度 | ±0.3%F.S.（≤30%F.S.） ±1.0%S.P.（＞30%F.S.） |
| 量程比 | 100:1 |
| 响应时间 | ≤0.5s |
| 重复精度 | ≤±0.2%F.S. |
| 分辨率 |
0.001sccm,，≤ 20sccm 0.01sccm， ≤ 100sccm且＞20sccm 0.1sccm， ≤ 1slm且＞100sccm 1sccm， ＞1slm |
| 漏率 | ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s He |
| 最大耐压 | 10bar |
| 工作温度 | 0~50℃ |
| 工作湿度 | 10%~90%R.H.（无结冰、无凝霜） |
| 工作压力 |
0.5~4bar，＞2slm 0.5~6bar，≤ 2slm （具体量程相关） |
| 储存温度 | -20~85℃ |
| 供电电压 | DC24V |
| 功耗 | ≤4.0W |
| 启动时间 | ≤1s |
| 接口类型 | D-SUB9、RJ45 |
| 模拟控制 | 0-5V或4-20mA |
| 数字控制 | RS485或RS232 |
| 接口类型 | D-SUB9或RJ45 |
| 通信速率 | 9600，38400，115200（默认） |
| 协议 | Modbus-RTU |
| 设备地址 | 1（默认）~99 |
| 接头类型 |
卡套：1/4inch VCR：1/4inch 其他可选 |
| 气体接触材质 | 316L不锈钢、氟橡胶、二氧化硅 |
| 主体材质 |
底座：316L不锈钢 外壳：铝合金 |
| 密封材质 | FKM氟橡胶 |
| 重量 | 0.95kg |
除非另有说明，本产品标定于以下条件：氮气、25℃、2.5bar差压（进气口3.5barA，出气口1barA）、水平放置。
建议在入口端安装尺寸合适的直管段，否则可能会引起精度产生偏差。
建议在入口端和出口端匹配尽可能大的接头，以避免导致额外的压损。
1 所示量程为氮气可选量程。
2 %F.S.指误差占满量程的百分比。
3 %S.P.指误差占设定值的百分比。
4 响应时间指达到设定值±2%以内所需要的时间。
5 工作压力指进气口与出气口之间的差压。
行业应用
| 工业制气 | 科研实验 | 半导体 | 光伏行业 |
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