MGJX680 热式气体质量流量计

概要:

MGJX680质量流量计 (Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。 MGJX680采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

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产品特点

· 热式原理，响应快，精度高
· 管状分流，不易堵塞
· 适用于各种低压和高压管道
· 预热时间短，零漂小，可靠性高
· 模拟量输入/输出，可使用二次表或流量计算机控制和显示流量

技术参数

产品名称	MGJX680热式气体质量流量计
量程范围	（0~5,10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM （0~1,2,3,5,10,50…200…3000）SLM
准确度	±1.0%F.S
线性	±0.5~1.5%F.S
重复精度	±0.2%F.S
工作压差	0.1~0.5MPa（订货时指定）
耐压	3MPa（订货时指定）
工作环境温度	常温
数字量	RS485 / RS232 MODBUS 协议
模拟量	0~5V ，1~5V，4~20mA 可选
供电	DC ±15V / 24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA
电气连接	DB15
漏率	1×10-9Pa m3/S
底座材质	不锈钢
密封材质	氟橡胶，丁晴橡胶，全氟醚等
气路接头	卡套，宝塔，快插，法兰等