热式MEMS传感器芯片/微流量气体测量仪表/热式 MFM/高精度气体流量计
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MGX695系列产品采用公司自主研发的工业级先进流量传感器芯片，结合低压损气路结构以及高速数字处理电路以及温度补偿算法，可以实现最小0.1sccm、最大20slm流量范围内的气体流量快速控制。该产品可选配触摸显示屏、独立供电端口，完美适配半导体、真空镀膜、实验室、光伏、分析仪等各类应用环境。
MGX690系列数字质量流量控制器/流量计：采用自主研发的工业级先进流量传感器，结合精细抛光气路结构以及高精度数字控制电路和算法，实现高精度、低零漂、高重复性控制 。该产品配备现场显示屏和地址编码开关，多种通讯方式可选、可定制全金属密封，适配半导体、真空镀膜、光伏及其它各类应用环境。
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