气体质量流量控制器/MEMS流量芯片/高精度/热式MFC
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MG630FC系列气体质量流量控制器,适配各类工艺的气体流量管控场景。产品采用自研高精度 MEMS 流量芯片、电磁比例阀及全国产电子元器件,经严格可靠性测试,拥有CE、防爆、计量院一级精度校准等多项认证。产品量程覆盖0~100sccm~200slm,体积小巧、安装简便;兼容RS485、0-5V、4-20mA 信号输出,可满足多样工况使用要求。
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