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MG610 热式气体质量流量计
MG610是一款基于MEMS传感芯片的高精度微型气体质量流量计,专为小流量洁净气体的测量与控制设计。该产品采用先进的封装技术,无需温压补偿,具备优异的测量稳定性与重复性,可替代传统容积式或压差式流量计。其支持4~20mA电流输出与RS485通信,配备液晶显示屏实时显示流量数据,并具备多气体类型选择、报警输出、参数灵活配置等功能。适用于半导体、生物医疗、工业制气、汽车电子等领域的精密气体流量监测与控制。
热式
气体质量流量计
MEMS传感器芯片
高精度1.5%FS
宽量程
多种气体类型可调
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MG630FC热式气体质量流量控制器
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