MGX690 热式气体质量流量计

Name: MGX690 热式气体质量流量计
Brand: 杭州孚昇仪表科技有限公司
Availability: InStock

概要:

MGX690系列数字质量流量控制器/流量计：采用自主研发的工业级先进流量传感器，结合精细抛光气路结构以及高精度数字控制电路和算法，实现高精度、低零漂、高重复性控制。该产品配备现场显示屏和地址编码开关，多种通讯方式可选、可定制全金属密封，适配半导体、真空镀膜、光伏及其它各类应用环境。

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详细介绍

产品特点

· 物理功能模块丰富：零点校准按钮、报警指示灯、EtherCAT 错误指示灯、EtherCAT 或 RS485 接口（输入/输出）、数字显示屏、地址编码开关 ×3

· 快速响应：传感器响应时间1.5ms，仪表系统响应时间0.1~0.5s，可及时捕捉微小流量变化

· 高精度：1.0%~100%F.S.全量程段保持高精度：0.3%F.S.(≤30%F.S.)；1.0%S.P.(>30%F.S.)

· 协议丰富/配备专用上位机：产品配备地址编码开关及独立供电接口，可定制EtherCAT或RS485数字通讯方式

· 配备专用上位机：配备功能强大的SmartFlow，支持多台联动，方便用户进行监测和设备配置

技术参数

产品名称	MGX690气体质量流量计
介质要求	洁净干燥无腐蚀性气体
介质种类	空气、氮气、氧气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氨气等
量程（氮气等效）	(0~20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10, 20，50) slm 其他量程可选，详细请咨询
精度	±0.3%F.S.（≤30%F.S.） ±1.0%S.P.（＞30%F.S.）
量程比	50:1
响应时间	≤10ms
重复精度	≤±0.2%F.S.
分辨率	0.01sccm, ≤100sccm 1sccm，＞100sccm
漏率	氟橡胶密封：≤4×10⁻¹⁰ Pa·m³/s He 全金属密封：≤1×10⁻¹² Pa·m³/s He
最大耐压	10bar
工作温度	0~50℃
工作湿度	10%~90%R.H.（无结冰、无凝霜）
工作压力	100bar
储存温度	-20~85℃
供电电压	DC24V
功耗	≤2.7W
启动时间	≤1s
接头类型	卡套：1/4 inch VCR：1/4 inch 其它可选
气体接触材质	氟橡胶密封：316L不锈钢、氟橡胶、二氧化硅全金属密封：316L不锈钢
主体材质	底座：316L不锈钢外壳：铝合金
密封材质	FKM氟橡胶或全金属
重量	流量计：0.80 kg
EtherCAT通讯
接口类型	RJ45
设备地址	1（默认）-99 可通过顶部拨码开关修改
RS485通讯
接口类型	M8航空插头
通信速率	9600,19200,115200(默认) 可通过上位机和指令修改
协议	Modbus-RTU
设备地址	1 (默认) ~250 可通过上位机和指令修改