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宽量程

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MG605系列气体质量流量计是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作，适用于各种用途的清洁、相对干燥性小流量气体测量和过程控制，独特的封装技术使得产品满足不同范围的流量测量，确保高灵敏度，高可靠性和高稳定性。该流量计具有RS485网络通讯接口以及用户自定义报警功能，可以更好的实现数据传输和流量监控。MG605产品可支持 0.1L/min~2000L/min 气体流量测量，用户可以根据需求选择气体类型及量程。

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MG610是一款基于MEMS传感芯片的高精度微型气体质量流量计，专为小流量洁净气体的测量与控制设计。该产品采用先进的封装技术，无需温压补偿，具备优异的测量稳定性与重复性，可替代传统容积式或压差式流量计。其支持4~20mA电流输出与RS485通信，配备液晶显示屏实时显示流量数据，并具备多气体类型选择、报警输出、参数灵活配置等功能。适用于半导体、生物医疗、工业制气、汽车电子等领域的精密气体流量监测与控制。

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MG610S分体热式气体质量流量计是一种测量气体质量流量的仪器，其特点是传感器部分与显示/控制单元分开，满足更多工业上复杂工况。使用MEMS传感器芯片，测量精度高，稳定性好。

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MGJ680质量流量计 (Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。 MGJ680采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

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