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MG610S分体热式气体质量流量计是一种测量气体质量流量的仪器，其特点是传感器部分与显示/控制单元分开，满足更多工业上复杂工况。使用MEMS传感器芯片，测量精度高，稳定性好。
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MGJ680质量流量计 (Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、 医药、环保和真空多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。 MGJ680采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
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